可定制靶材規(guī)格：圓靶（圓弧靶）（直徑<1000mm，厚度>1mm），板靶(長*寬*高 不限），

                          管靶（外直徑<420mm,壁厚>6mm,長度<6000mm）

材料純度：>99.995%

金屬雜質(zhì)含量：（Al/Fe/Ca/Mg/Co/Ni/Cr/Mn/Ti/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn）：<10ppm

平整度（TIR）:<20μm

局部平整度（STIR）:<10μm

翹曲度（Warp）:<50μm